Descubra el ULCoat desarrollado por AcXys Technologies: la simplicidad de la deposición de película delgada para muchas aplicaciones
ULCoat
Con la inyección de un precursor en el plasma posterior a la descarga, el ULCoat permite la deposición de finas capas sobre la superficie tratada.
El ULCoat es un sistema de vaporización e inyección de un precursor debajo de la boquilla de plasma. El ULCoat se utiliza junto con un generador OMEGA ULS.
El módulo estándar está diseñado para la deposición de óxidos de silicio (SiOx) utilizando un precursor organometálico. Pero se pueden explorar otras composiciones químicas.
El laboratorio de desarrollo de procesos de AcXys Technologies está a su servicio para desarrollar la aplicación que satisfaga sus necesidades bajo un contrato de I + D.
Tecnología ULCoat
- – Acoplado al módulo ULS OMEGA
- – Utilizado para depositar capas delgadas
- – Espesor ajustable de 50 a 1000 nanómetros
- – Espesor uniforme con variación de +/- 2%
- – Velocidad de procesamiento para tratamiento hasta 200 nm.cm2/s
- – La versión estándar es óptima para depósitos de SiOx
La boquilla de inyección
El flujo de precursores se controla antes de su inyección en el plasma. Este módulo integra los siguientes elementos:
- – Tanque de precursor
- – Control de flujo de precursores
- – Control de flujo de gas
- – Componente calefactor (opcional)
Interfaz de pantalla táctil digital intuitiva
- – Pantalla táctil integrada (remota si es OEM)
- – Control intuitivo
- – Interfaz multilingüe
- – Detección de errores y solución de problemas
- – Visualización de instrucciones en tiempo real
Gases compatibles
- – Aire
- – Nitrógeno
- – Otra mezcla de gases
Beneficios de ULCoat
- – Proceso a baja temperatura
- – Espesor uniforme con una variación del 2%
- – Posiblemente se pueden integrar otros tipo de depósitos
- – Disponible versión OpenFlow para el desarrollo de nuevos procesos de depósito